Порошок микрокремнезема (порошок диоксида кремния) является важным сырьем для электронной информационной промышленности. Он нетоксичен, безвкусен и не загрязняет окружающую среду и относится к неорганическим неметаллическим материалам. Порошок микрокремнезема можно разделить на две категории: кристаллическая форма и аморфная форма. Он должен пройти специальную технологию обработки, прежде чем его можно будет превратить в сферический порошок микрокремнезема, отвечающий требованиям к электронным упаковочным материалам.
Общие интегральные схемы используют фотолитографию для гравировки схемы на монокристаллической кремниевой пластине, затем соединяют соединительные провода и контакты, а затем герметизируют ее эпоксидным пластиковым компаундом. В области микроэлектронной упаковки обычно используется порошок аморфного или плавленого кварца, размер которого составляет порядка микрон. По своей форме порошок плавленого кварца можно разделить на два типа: угловатый порошок кварца и сферический порошок кварца.
С быстрым развитием электронной информационной индустрии крупные и сверхкрупномасштабные интегральные схемы предъявляют все более высокие требования к кремниевому микропорошку, не только требуя, чтобы он был сверхмелким, но также требовал, чтобы он имел высокую чистоту и низкое содержание радиоактивных элементов, особенно для форм частиц Предлагается требование сфероидизации. Чем выше уровень интеграции интегральных схем, тем выше чистота микропорошка кремния в эпоксидной массе, тем мельче частицы и лучше сфероидизация. Сферический микропорошок кремния следует частично использовать в крупногабаритных интегральных схемах, а в сверхкрупногабаритных и сверхкрупногабаритных интегральных схемах, когда степень интеграции достигает 8М и более, необходимо использовать весь сферический микропорошок кремния.
Почему необходимо использовать сферический порошок кремнезема?
(1) Поверхность шарика обладает хорошей текучестью, и ее можно смешать со смолой для образования однородной пленки. Количество добавляемой смолы невелико, количество наполнителя порошка может достигать самого высокого уровня, а массовое соотношение может достигать 90,5%. Следовательно, сфероидизация означает увеличение скорости наполнения микропорошка кремния. Чем выше скорость наполнения микропорошка кремния, тем меньше его коэффициент теплового расширения, а чем ниже его теплопроводность, тем ближе он к коэффициенту теплового расширения монокристаллического кремния. Производительность устройства также лучше.
(2) Концентрация напряжений в формовочной массе, образованной сфероидизацией, наименьшая, а прочность наибольшая. Когда концентрация напряжений формовочной массы угловатого порошка равна 1, напряжение сферического порошка составляет всего 0,6. Высокая, и ее нелегко нанести механическим повреждениям при транспортировке, монтаже и эксплуатации.
(3) Сферический порошок имеет небольшой коэффициент трения и меньший износ формы. По сравнению с угловатым порошком срок службы формы можно увеличить вдвое. Цена упаковочной формы пластикового герметика очень высока, и некоторые из них необходимо импортировать. Это очень важно для упаковочной фабрики. Также важно снизить затраты и повысить экономическую эффективность.