Кварцевые тигли представляют собой круглые изделия из кварцевого стекла в форме тигля разных размеров. Они обладают такими преимуществами, как очень малое количество пузырьков (внутренний слой), чрезвычайно высокая чистота диоксида кремния и высокая температура плавления. Они используются для монокристаллических кремниевых стержней, необходимых для процесса CZF для вытягивания чипов и фотоэлектрической промышленности.
В полупроводниковой промышленности кварцевые тигли предъявляют высокие требования к содержанию примесей щелочных и переходных металлов. Примеси щелочных металлов влияют на тепловые свойства кварцевых тиглей, снижают термостойкость кварцевых изделий, снижают их температуру плавления и ухудшают высокотемпературные характеристики; примеси переходных металлов снижают проводимость и сокращают срок службы полупроводников. Высокое содержание примесей также приводит к дефектам, таким как пузырьки и цветные пятна, снижает прозрачность кварцевых тиглей и в тяжелых случаях влияет на формование кварцевых тиглей.
В целях повышения эффективности производства и снижения затрат эволюция к более крупным размерам является направлением развития технологии производства полупроводниковых кремниевых пластин. Чем больше размер кремниевой пластины, тем больше чипов можно изготовить на одной кремниевой пластине, и стоимость чипа соответственно снизится. В то же время изготовление прямоугольных чипов на круглой кремниевой пластине сделает некоторые области на краю кремниевой пластины непригодными для использования, что неизбежно приведет к потере части кремниевых пластин. Чем больше размер кремниевой пластины, тем меньше будут потери на краю кремниевой пластины, что способствует дальнейшему снижению стоимости чипа.
Полупроводниковые кремниевые пластины постоянно развиваются в направлении больших размеров, от начальных 2 дюймов до нынешних 12 дюймов, и могут развиться до 18 дюймов в будущем, и доля доступной площади кремниевых пластин будет постепенно увеличиваться. Это также побуждает кремниевые монокристаллические кремниевые материалы к дальнейшему развитию в направлении бездефектности, большого размера, высокой однородности и структурной целостности.
В будущем продолжающийся рост спроса на крупногабаритные кремниевые пластины приведет к дальнейшему росту масштаба полупроводниковых кварцевых тиглей. С продолжающимся ростом поставок 8-дюймовых и 12-дюймовых полупроводниковых кремниевых пластин соответствующий спрос на 24-дюймовые и 32-дюймовые полупроводниковые кварцевые тигли продолжает расти.