Кварцевые изделия в основном используются в производстве монокристаллического кремния и изготовлении пластин. Производство полупроводников делится на три этапа: проектирование микросхем, производство микросхем, а также корпусирование и тестирование. Производство микросхем можно разделить на производство монокристаллических кремниевых пластин и изготовление пластин. Кварцевые материалы в основном используются на этих двух этапах. Кварцевые лодочки, кварцевые трубки и кварцевые приборы являются необходимыми материалами для процессов очистки, окисления, фотолитографии, травления и диффузии в процессе производства полупроводниковых кристаллов.
Процессы производства полупроводников требуют большого количества кварцевых изделий. Эти процессы подразделяются на высокотемпературные и низкотемпературные, в зависимости от рабочей температуры. Высокотемпературные процессы включают диффузию и окисление, а низкотемпературные — травление, корпусирование, фотолитографию и очистку.
1) В высокотемпературных процессах кварцевые изделия должны непрерывно работать в течение нескольких часов при температурах, превышающих 1000 градусов Цельсия. Поэтому они должны быть термостойкими, термостабильными и устойчивыми к деформации. Кварцевые изделия в основном состоят из диоксида кремния. Гидроксильные группы изменяют структуру связей диоксида кремния, снижая термическую стабильность материала и значительно уменьшая термостойкость кварцевых изделий. Поэтому кварцевые изделия, используемые в высокотемпературных процессах, должны подвергаться дегидроксилированию. Кроме того, для высокотемпературных процессов кварцевые изделия должны обладать коррозионной стойкостью, хорошим светопропусканием и низким содержанием примесей.
2) Рабочая температура низкотемпературного процесса относительно низкая, поэтому к кварцевым изделиям не предъявляются требования ни к высокотемпературной стойкости, ни к содержанию гидроксильных групп в кварцевом материале. В низкотемпературном процессе к кварцевым изделиям предъявляются, главным образом, такие требования, как коррозионная стойкость, хорошее светопропускание и низкое содержание примесей. Изделия из кварцевого стекла являются ключевыми материалами в полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности.
Alpa Powder — ваш надежный партнер в области передовых технологических решений для кварцевой промышленности. Мы специализируемся на производстве ультратонких порошков, предлагая передовые технологии измельчения и классификации. Наш широкий ассортимент оборудования, включая системы классификации на основе шаровых мельниц, механических мельниц и струйных мельниц, разработан для обеспечения точного распределения размера частиц, высокой чистоты и исключительной эффективности для самых требовательных задач. Доверьтесь Alpa Powder — мы предоставим вам надежные технологии и экспертную поддержку, необходимые для оптимизации производства и достижения превосходного качества продукции.