石英產品在半導體中的應用

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石英產品主要用於單晶矽製造和晶圓製造。半導體產業分為三個步驟:晶片設計、晶片製造和封裝測試。晶片製造可進一步細分為單晶矽晶圓製造及晶圓製造。石英材料主要應用於這兩個步驟。石英舟、石英管和石英儀器是半導體晶片製造過程中清洗、氧化、光刻、蝕刻和擴散製程的必備材料。

半導體製造過程需要大量的石英產品。根據工作溫度,這些製程可分為高溫製程和低溫製程。高溫製程包括擴散和氧化,而低溫製程包括蝕刻、封裝、光刻和清洗。

1) 在高溫製程中,石英產品必須在超過攝氏1000度的溫度下連續運轉數小時。因此,它們必須具有耐熱性、熱穩定性和抗變形性。石英產品的主要成分是二氧化矽。羥基會改變二氧化矽的鍵結結構,降低材料的熱穩定性,顯著降低石英製品的耐熱性。因此,用於高溫製程的石英製品必須進行脫羥基處理。此外,高溫製程還要求石英製品具有耐腐蝕、良好的透光性和較低的雜質含量。

2)低溫製程的工作溫度相對較低,對石英製品的耐高溫性能沒有要求,對石英材料的羥基含量也沒有要求。在低溫製程中,對石英製品的性能要求主要為耐腐蝕、良好的透光性和較低的雜質含量。石英玻璃製品是半導體產業和光伏產業的關鍵材料。

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石英在光伏和半導體領域的應用